レーザースクライバー【WSS2000】ハイパワー
概 要
①オートアライメント及びオートフォーカス機能を備え精度の高いスクライブが可能です。(透明体のワークは機能しません。)
②ステージ下側にも光学系を搭載しており、加工表面より観察の出来ないウェハーに対してもオートアライメントが可能です。
③ダイサーリングを手でセットし,自動でテーブルに脱着のできるセミオートタイプです。
④ダイサーリングをセット後、オートアライメントを行い、設定された条件で加工を行うセミオート仕様です。
⑤レーザー集光レンズは、切り替え式です。(モニター用、加工用各1ヶ)
⑥同一スクライブラインを、レーザー焦点位置とスクライブスピードの事前登録により、最大10登録スクライブできる多重スクライブ機能をもっています。(多重スクライブは、1ライン毎実行します。)
※レンズの交換時は、取り外し取り付、位置チーチング、カメラ調整を作業者が行います。



★安全対策と異常検出
①非常停止スイッチの設置
②レーザー光の遮光
③エア供給圧力低下
④真空圧力低下
⑤電源関係の安全対策