レーザースクライバー【ZSBF2000】一体型
ブレーカー 一体型装置
本装置は、ワークを貼り付けたリングを供給側カセットから自動的にワークテーブルへ供給し、自動でアライメントを行い、ウェハーのX方向及びY方向にレーザーで傷を入れます。スクライブ後のワークはブレーキング装置側に移動し分割を行います。
分割が終了するとリングを収納側カセットに収納します。カセット内のワークを自動でレーザースクライブ、ブレーキングするフルオートの複合型装置です。
仕 様

★対象ワークと供給形態

・対象ワーク
1) 材質 レーザー発振器によります。
2) ワークサイズ
  目安:~100mm×~100mm MAX 6インチリング時
     ~80mm × ~80mm MAX 8インチリング時  

・供給形態
1) フラットリング 6インチリング
 8インチリング
2) マガジン   マガジン20段