ダイヤモンドスクライバー【OSM-160TP】
本システムはウェハーを後工程でブレーキングしチップ化するためのスクライブラインを入れる装置です。ウエハーテーブルは90°回転機構によりX方向、Y方向のスクライブが可能です。
スクライブはカッター定位置でテーブル移動です。また画像処理によるオートアライメント機能が付いています。
仕 様
★テーブルサイズ
・ウェハーテーブル:φ160 mm 
・平行度
 ±0.010 mm/180mmストローク
・グリップリングGR-5に対応します。