外観検査装置【SVF4000】パターン
フルオート ウェハー外観検査装置
本装置は専用マガジンからウェハーを自動供給し、画像処理にてパッドのニードル痕の有無と位置ずれ検査をする全自動の装置です。
仕 様
★ワークサイズ、対象ワーク、検査精度
①ワークサイズ
 ・5インチ
 ・6インチ
 ・8インチ

②対象ワーク
 チップサイズ MIN 1mm×1mm MAX 16mm×16mm

③検査精度
 2μm以上の外観不良を対象とする。(20倍レンズ検査時)
 (ワーク表面状態によって変化がありますので、
 個別に別途ご相談させて頂きます)