外観検査装置【ZVF2000】ライン
全自動外観検査装置
本装置は、高解像度のCCDカメラを搭載した画像処理装置との接続によりウェハー上のチップの外観検査を行います。ワークはディスコ製のフラットリングに貼られ、カセットより供給し、自動搬送されます。
チップ化された常態での検査及び、ウェハー常態での検査も可能です。
全チップの検査終了後、検査結果を基にNGチップを全数抜取るか、マーキングするかを選択可能で、全NGチップ処理後マガジンに収納する、フルオートの外観検査装置です。
尚、処理能力アップの為、検査部を2箇所に配し、同時に検査する事でのタクトアップを図っています。
仕 様
★装置特徴

①ウェハー常態及び、チップ化された状態での検査が可能です。(但し、ウェハー常態でもシートに貼り付けたリングでの供給となります。)

②自動でのアライメント後、1視野1個(又は複数個)ずつ外観検査を行います。
(スタート位置は自動的に決められます。)
③ウェハー及びチップのモード切替は設定にて行います。
④品種毎に検査条件・1視野の検査チップ数・スケーリングデータを管理できます。
⑤チップの検査モード時はチップ抜き取り機能が使用できます。
⑥ウェハーの検査モード時はチップへのマーキング機能が使用できます。

★対象デバイス及び検査エリア
①ウェハーサイズ 
□54mm、φ4インチ

②チップサイズ
チップサイズ:□0.85mm×1mm

③リングサイズ
外形227mm×内径195mm×厚さ1mm ディスコ製

★タクトタイム
・算出タクト条件
 チップサイズ 0.8×1.0
 チップ数2600個
 チップ抜き取り200ヶ

・リングカセット~検査ステージ
 1枚目:15秒
 2枚目以降:5秒
 θアライメント
  5秒
 外観検査処理( 0.21秒/1チップ )
  2600個/546秒 ÷ 2テーブル = 273秒
 リング受渡し
  9秒
 NGチップ抜き取り( 0.5秒/1チップ )
  100秒
 収納動作
  5秒
  最終15秒
 通常タクトタイム:約287秒(4分47秒)
 1枚目タクトタイム:約297秒(4分57秒)
 最終枚目タクトタイム:約297秒(4分57秒)

 1枚目 250枚目
  288秒+(278秒×248枚)+288秒=69520秒/250枚
  3600秒×20時間=72000秒/1日