ブレーキング装置【WBF8000】フルオート
本システムはスクライブ済ウェハーをブレーク刃にてチップ化する装置です。アライメントは画像処理によりオートで行います。またウェハーの供給もリングを収納したカセットから自動的に行うフルオート仕様です。
仕 様
★対象ウェハー及びリング

1) 汎用素材ウェハー
2) ウェハーサイズ 8インチ以下 
3) チップサイズ 200μm角以上 アスペクト比1.5以上
4) ワークのマウント精度 ±3mm以下