拡張装置【WEF3000】
フルオート ウェハー拡張装置
本装置は御社指定のダブルリングを装置にセットし、ヒーターステージに搬送します。次にカセットに収納されたフラットリング(ブレイク済みウェハーの貼られている物)をヒーターステージに搬送し、設定された条件でエキスパンドします。その時画像処理により設定条件がでているか判定し、NGの時はアラームをだし停止します。
OKの時はダブルリング(アウターリング)をはめ込みテープをカットします。その後リング固定用台座にセットし台座用カセットに収納します。フラットリングは収納位置に重ね置きします。
ダブルリングセットは、外し後(分割しテープが無い状態)と外し前(合体しテープが有る状態)どちらでもセットでき、外し前の時は、分割シート除去工程後ヒーターステージに搬送されます。これらの作業を自動で行うフルオート仕様です。
又独立機能としてテープマウンターが装備してあります。8インチフラットリングはカセットから供給、収納できるフルオート仕様です。6インチフラットリングは手載せで対応します。(段取り換えが必要です。)
仕 様
★対象デバイス
・4インチ以下★サイクルタイム
2min/1ウェハー

★エキスパンド率
105~160%
※任意に設定可能です。