劈開装置【LDH-50TS】
本装置は、スクライブされたLDウェハー又はバーのリングを作業者がワークテーブルにセットした後、自動で劈開を行う装置です。
仕 様
★対象デバイス、及びリング
・対象ウェハー
 ①ウエハーサイズ  3インチ以下   
 ② チップサイズ 最短辺 0.2mm以上  

・ウエハリング
 フラットリング 内径φ165mm 外径φ195mm t=1mm

★安全対策と地震対策について
安全対策
 ・全面カバー取付け。
 ・前面カバーが開いている時はブレーク刃は動きません。
 ・自動運転中に前面カバーが開いた時はサイクル停止とします。
 ・ブレーク刃下降時はワークテーブル及び受け刃は動きません。

地震対策
 モニターTV等はバンドまたは金具で固定します。