劈開装置【LDTH-100TS】
本装置は、スクライブされたLDウェハーを1次劈開するための装置です。
ウェハー上部からテンションの張ったテープを押しあて、ブレーク刃を下方向から突き上げ分割する構造です。
又画像処理装置により自動でアライメントできるセミオート仕様です。
特 徴
★安全対策について
安全対策
正面開閉カバーには、ロック付きセーフティセンサを設置し、開いている状態では装置は動きません。
又運転中にロックは解除しません。

★対象デバイス及びリング
・対象ウェバー
 ウェハーサイズ : φ4インチ以下

・ウェハーリング
 フラットリング : 内径 φ194mm  外径 φ228mm t=1.2mm