ダイヤモンドスクライバー【OSM-90TP】
本システムはウェハーを後工程でブレーキングしチップ化するためのスクライブラインを入れる装置です。
仕 様
ウエハーテーブルは90°回転機構によりX方向、Y方向のスクライブが可能です。スクライブはカッター定位置でテーブル移動です。
オプションの下カメラ機能により、テーブル下に位置するカメラを用いてアライメントを行う事もできます。