検査装置【VMSF3000】一体
VCSEL検査装置
本装置は、VCSELウェハー及びパッケージのIL、波長、偏光、FFP特性を自動、または手動で測定する装置です。

仕 様
★対象ワーク
VCSELウェハー:φ3インチ
VCSELパッケージ:御相談ください。
チップ数量:~6000チップ/測定