検査装置【VPSF3000】ウェハー
VCSELウェハー検査装置
本装置は、ウェハー状態での素子の電気特性、光特性(IL/IV)を自動的に測定するための装置であり、付属テスターとの接続により自動測定を行い測定データを保存します。
アライメントはモニターを見ながらの手動作業となります。
仕 様
★装置特徴
温調機能付きのテーブルを搭載

★対象ワーク
ウエハーサイズ:φ3インチ
チップサイズ:300μm×300μm×100μm
       ~400μm×400μm×100μm
測定波長帯:750nm ~ 850nm

★タクトタイム
0.8sec/チップ( マシンタクト含む )以内(条件により多少変動します)