レーザースクライバー【WSF4000】
本システムはレーザ(波長355nm)を搭載したスクライブ専用システムで、GaNウェハーをバー化、及びチップ化するためのスクライビングに最適なシステムとなっております。
仕 様
①オートアライメント及びオートフォーカス機能を備え精度の高いスクライブが可能です。
②ステージ下側にも光学系を搭載しており、加工表面より観察の困難なウェハーに対してもオートアライメントが可能です。
③高速シャッターにより破線スクライブ、マーキングすることが可能です。



★安全対策と異常検出について
本装置は下記の安全対策を設けています。

①非常停止スイッチの設置
②レーザ光の遮光
③エア供給圧力低下
④真空圧力低下