ブレーキング装置【OBM-90TP】
本装置は、スクライブされたウェハーのウェハーリングを作業者がワークテーブルにセットした後、自動でアライメントを行い、X方向及びY方向にブレ-キングを行うセミオートのブレ-キング装置です。
仕 様
★画像処理システム搭載
ブレーキングテーブルの下方向からウェハーを撮像し、オペレーション前のウェハーアライメント及びオペレーション中のズレ補正を行います。

★対象ウェハー及びリング
①対象ウェハー
 ウェハーサイズ:4インチ以下(有効エリア:φ105mm)
②ウェハーリング
 フラットリング 内径φ194mm 外径φ2228mm t=1.2mm