ブレーキング装置【WBF6000】フルオート
本装置は、スクライブ済ウェハーを貼り付けたリングをカセットから自動的にワークテーブルへ供給し、自動でアライメントを行った後、ウェハーのX方向及びY方向にブレーキングを行います。ブレーキングが終了するとリングを自動的に交換するフルオート仕様です。
又割れ荷重をモニターでき、割れ確認機能では割れ残りを低減させ、異常時には停止するなどの機能があります。
仕 様
★画像処理システム搭載
 画像処理 PC内臓型
 PC dc5850(HP)または同等品
 画像処理ボード MVX-8504(COGNEX)
   
 ①アライメント
 ②外形認識

★対象ウェハー及びリング

①ウェハー サファイア
②ウエハーサイズ 2~6インチ以下(ウェハーは定型/丸・角)
③チップサイズ 200μm角以上 t=200μm以下
④ウエハーリング フラットリング
内径φ250mm 外径φ296mm
t=1.2mm