プローバー【WPFI3000】積分球
フルオート LED積分球プローバー
本装置は、チップ化されたエキスパンド前のワークを、供給マガジンから順に取り出し、積分球内で、電気特性及び波長を自動的に測定する為の、全自動測定装置です。
付属テスターとの接続により自動測定後測定データを保存します。
特 徴
★装置特徴
①タクト短縮の実現
②ソリ、厚みのバラツキのあるウェハーにも対応
③正確なチップの位置認識

★対象ワーク
①ウェハーサイズ : φ3ンチ(MAX)の定形円
②チップサイズ : 250μm~1000μm

★測定時間
以下は4ch測定の場合
 1チップ当たり 約110mSec(測定条件等によって変動します)