プローバー【WPFR4000】裏面
フルオート LED裏面プローバー
本装置は、マガジン内に収納されたウエハーを1枚ずつ自動で取り出し、チップの電気的諸特性及び輝度、波長を測定し、元のマガジンの位置へ収納するフルオートの装置です。
付属テスターとの接続により自動測定を行います。
特 徴
★装置特徴

①ソリ、厚みのバラツキのあるウェハーに対応
②最適な位置調整の自動化
③最適な画像処理の自動化

★対象ワーク

ウエハーサイズ φ6インチ
チップサイズ 200μm~1000μm
厚み 約500μm