プロービング&ソーター【WMF3000】
セミオート LEDチップ測定分類機
本装置は、チップ化されたウェハー付きのダイサーリングカセットをセットし、ダイサーリングより
チップを測定テーブルへ搬送し、テスターによる計測でランク値を取得し、該当するランクの
ダイサーリングへ搬送するセミオートの測定分類装置です。
概 要
★対象ウェハー
①ウェハー種類:LEDウェハー
②ウェハーサイズ:3インチ以下
③チップサイズ:0.25~1.0mm□

★配列精度
①X,Y方向:±30μm以内
②θ方向:±5°以内

★タクト
0.3Sec以下/チップ(条件により多少変動します)