プロービング&ソーター【WMF3000S】
セミオート LEDチップ測定分類機
本装置はチップ化され、エキスパンドされたウェハー付きのグリップリングを入れたカセットをセットします。このカセットより引き出されたグリップリング上のチップを測定テーブルへ搬送し、テスターによる計測でランク値を取得します。さらにこの計測済みチップを該当するランクのリングへ再配列するフルオートの測定分類装置です。
特 徴
★高速タクトを実現
 0.3Sec以下/チップ(Prober部)、 0.25Sec以下/チップ(Sorter部)
 (条件により多少変動します)

★対象ウェハー
①ウェハー種類:LEDウェハー
②ウェハーサイズ:6”以下
③チップサイズ:0.2~2.0mm□

★配列精度
X,Y方向:±20μm以内
θ方向:±5°以内