プロービング&ソーター【WMSD3000】1 Stage
セミオート LEDチップ測定分類機
本装置は、シート上のエキスパンド済みチップを測定ステージに搬送し、測定後のチップをランク毎に分類、配列を行なう装置です。
各測定項目で測定し分類データ結果に従って、MAX16分類(16パレット)に区別し自動で再配列シートに配列します。
仕 様
★対象ウェハー及び供給、配列形態
 ①ウェハー種類:LEDウェハー
 ②ウェハーサイズ :φ2”以下
 ③チップサイズ:約0.5mm□

・供給形態
 ①リング搭載数:1個
 ②ピックアップエリア:φ90mm(リングサイズにより変更となります)
 ③ウェハー形態:エキスパンド済

・配列形態
 ①配列トレー搭載数:16個

★配列精度及びタクト
・精度
 X,Y方向:±30μm以内
 θ方向:±5°以内

★タクトタイム
1.0Sec/チップ以下(測定時間含む、条件により多少変動します)