ソーター【WDS3000】パレット
LED チップ配列装置
本装置は、シート上のエキスパンド済みチップを既存分類データに従って区分し、自動でシート上に配列するセミオートのチップ配列装置です。
既存分類データ結果に従って、MAX24分類(8パレット)に区別し自動で再配列シートに配列する事ができます。
仕 様

★対象ウェハー及びリング
①ウェハー種類   :  LEDウェハー
②ウェハーサイズ  :  2”以下(φ80mmエリア)
③チップサイズ   :  0.25~0.40mms□

★配列精度及びタクト
・精度
 X,Y方向 : ±30μm以内
 θ方向 : ±5°以内

★タクトタイム
0.6Sec/チップ以下(条件により多少変動します)