チップ外観検査装置【VVF4000】
対象となるワークの表面のキズ等を画像処理装置にて検査をする装置です。
ウェハー状態のワークから、チップ化されたワークまで検査することが出来ます。
エリア式カメラを搭載した装置と、ラインセンサーを搭載した装置があり、ワークをカセットに搭載し、供給→検査→収納までの全てを自動で行うフルオートタイプと、供給・収納作業はオペレーターが行うセミオートタイプがあります。
仕 様
1.さまざまな種類のワークを検査する事が可能です。LED(ウェハー状、チップ化済み) 、LD (バー状) 、VCSEL(ウェハー状、パッケージ)、LCDなど
※ 検査条件、検査対象のサイズなどにより可能な検査項目が異なります。
詳細に関しましてはお問合せフォーム、または電話、FAXにてお問合せください。
2.検査範囲は標準で4インチまでのエリアに対応。
※ 但し、検査対象のサイズ、状態などにより変化します。検査の可否に関しましてはワークをご提供いただき、評価テストを実施して返答いたします。お問合せフォーム、又は電話FAX にてお問い合わせください。
3.除振ユニットを搭載することで、クリーンルーム内の床振動をカットし、CCDカメラに振動を伝えない構造で、安定した検査が出来ます。
4.画像処理を複数併用することで、タクトタイム短縮が図れます。

 

オプション機能
1. オートフォーカスユニット
2. 高画素カラーCCDカメラ
3. NGチップにマーキングするマーカーユニット
4. NGチップ抜き取りユニット
5. 照明調光ユニット
6. 除電装置
7. バーコードリーダー・検査項目
有無、割れ、欠け、キズ、剥離、異物付着、変色、変形、サイズ判定、へこみ他または電話、 FAX にてお問い合わせ下さい。
※ご要望に応じて検査項目を選択出来ます。記載のない検査項目に関しましては、お問合せフォーム、又は電話FAX にてお問い合わせください。