・対象ウェハー
①ウエハーサイズ 3インチ以下
② チップサイズ 最短辺 0.2mm以上
・ウエハリング
フラットリング 内径φ165mm 外径φ195mm t=1mm
★安全対策と地震対策について
安全対策
・全面カバー取付け。
・前面カバーが開いている時はブレーク刃は動きません。
・自動運転中に前面カバーが開いた時はサイクル停止とします。
・ブレーク刃下降時はワークテーブル及び受け刃は動きません。
地震対策
モニターTV等はバンドまたは金具で固定します。
・ウエハリング
フラットリング 内径φ165mm 外径φ195mm t=1mm
★安全対策と地震対策について
安全対策
・全面カバー取付け。
・前面カバーが開いている時はブレーク刃は動きません。
・自動運転中に前面カバーが開いた時はサイクル停止とします。
・ブレーク刃下降時はワークテーブル及び受け刃は動きません。
地震対策
モニターTV等はバンドまたは金具で固定します。