プローバー【WPFR4000】裏面
フルオート LED裏面プローバー
本装置は、マガジン内に収納されたウエハーを1枚ずつ自動で取り出し、チップの電気的諸特性及び輝度、波長を測定し、元のマガジンの位置へ収納するフルオートの装置です。
付属テスターとの接続により自動測定を行います。
本装置は、マガジン内に収納されたウエハーを1枚ずつ自動で取り出し、チップの電気的諸特性及び輝度、波長を測定し、元のマガジンの位置へ収納するフルオートの装置です。
付属テスターとの接続により自動測定を行います。
特 徴
★装置特徴
①ソリ、厚みのバラツキのあるウェハーに対応
②最適な位置調整の自動化
③最適な画像処理の自動化
★対象ワーク
ウエハーサイズ | φ6インチ |
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チップサイズ | 200μm~1000μm |
厚み | 約500μm |