・供給形態
　①リング搭載数：1個
　②ピックアップエリア：φ90mm（リングサイズにより変更となります）
　③ウェハー形態：エキスパンド済

・配列形態
　①配列トレー搭載数：16個

★配列精度及びタクト
・精度
　X，Y方向：±30μm以内
　θ方向：±5°以内

★タクトタイム
1.0Sec/チップ以下（測定時間含む、条件により多少変動します）