本装置は、シート上のエキスパンド済みチップを測定ステージに搬送し、測定後のチップをランク毎に分類、配列を行なう装置です。
各測定項目で測定し分類データ結果に従って、MAX16分類(16パレット)に区別し自動で再配列シートに配列します。
①ウェハー種類:LEDウェハー
②ウェハーサイズ :φ2”以下
③チップサイズ:約0.5mm□
・供給形態
①リング搭載数:1個
②ピックアップエリア:φ90mm(リングサイズにより変更となります)
③ウェハー形態:エキスパンド済
・配列形態
①配列トレー搭載数:16個
★配列精度及びタクト
・精度
X,Y方向:±30μm以内
θ方向:±5°以内
★タクトタイム
1.0Sec/チップ以下(測定時間含む、条件により多少変動します)