測定分類機【WMSS7000】
セミオートLEDチップ測定分類機
本装置は、シート上のエキスパンドされたチップの光学的及び電気的特性を測定し、
測定結果により自動でシートに配列するセミオートのチップ測定分類装置です。
概 要
★対象ウェハー
①ウェハー種類:LEDウェハー
②ウェハーサイズ:3インチ以下
③チップサイズ:0.25~1.0mm□

★配列精度
①X,Y方向:±30μm以内
②θ方向:±5°以内

★タクト
0.3Sec以下/チップ(条件により多少変動します)